生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作,如:        

● 真空环境下的等离子;

● 高温;

● 与高度研磨液接触;

● 暴露于多种高腐蚀性化学品。



优势


● 准确复制全球任何地区可用的材料

● 广泛的材料选择、工程支持和测试能力

● 机加工能力,支持仿真系统NPI应用发展

● 材料组合最为广泛,专设计用于湿制程工具

● CMP环材料的全球一流制造商,包括Techtron® PPS(全球标准CMP应用)

● 用于刻蚀、CVD和离子植入等干式制程工具的材料,可降低成本和提高性能


产品与应用

半导体电子


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